使用清洗液目的是将污物和工件之间的连接打破，单独使用水是起不到清洗的效果。超声波空化作用的主要目的也正是辅助清洗液进行清洗。一种清洗液中包含了达到最佳清洗效果的多种成分。例如，减小液体表面张力可以增大空化强度，而一种超声波清洗液中会包含润湿剂或表面活性剂成分。

经常用的超声波清洗液是含有多种清洁成分、润湿剂和其他反应成分的混合物。选择恰当的清洗液对于有效清洗工件，排除不需要的反应是至关重要的。

不要使用易燃或低闪点溶液。空化作用释放出的能量被转化成热能和动能并在溶液内产生高温，这对于易燃液体是非常危险的。酸性清洗液、漂白剂通常情况下应当避免使用，因为它们会损坏不锈钢槽或产生危害；但当它们用于间接清洗工艺中，如用大口烧杯作为间接清洗容器时可以使用。